Uiteindelijk stemde ruim 91 procent van de aandeelhouders op de jaarvergadering in met de salarisverhoging. In het nieuwe stelsel kan de maximale beloning voor een bestuurslid oplopen tot ruim 11 miljoen euro. Topman Christophe Fouquet kreeg vorig jaar iets meer dan 5,4 miljoen euro aan basissalaris en bonussen.

Volgens ondernemingsraadvoorzitter Klaas Brantjes kan een forse salarisstijging aan de top slecht zijn voor het 'esprit de corps', oftewel het groepsgevoel tussen collega's en bestuurders. Hij waarschuwde ook voor nadelige maatschappelijke gevolgen als beloningen voor het bestuur en op de werkvloer verder uiteenlopen.

Wel zegt hij dat de ondernemingsraad begrijpt dat de aandeelhouders voor een verhoging hebben gekozen. "Zo loopt ASML in de pas met andere grote Europese bedrijven." Terri Kelly, hoofd van de beloningscommissie ASML, zei dat hogere beloningen nodig zijn om toptalent aan te trekken en te behouden.